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主要产品　　七大类：电阻炉、感应炉、真空炉、电子束炉、热处理（或熔炼）机组、热处理辅助设备、燃烧炉三． 电阻炉：三大部件：加热器、炉衬、耐构件 　　1． 分为周期式及连续式两大类 　　2． 周期式炉的特征： 　　A． 炉料同时加入同时取出 　　B． 加热时炉料基本不动（特殊情况除外：如滚筒炉，辊底炉） 　　C． 工作区内力求温度均匀3． 周期式电阻炉的分类　　A． 箱式炉 　　B． 台车炉（分为自行式和牵引式），用作退火之用，加热后工件随炉冷却 C． 井式炉 　　分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，为了配合di76．Zmm器件生产线的发展，我所研制了国内台15～30公斤的DL。78型单晶炉［‘］，并在该单晶炉上研究了48Omm硅单晶的控制工艺［‘］。在控制大直径硅单晶的过程中，涉及的面比较广，尤其是从我国原有1公斤、th3orum级的基础上跳跃到12公斤、680mm硅单晶的拉制工艺，需要研究讨论的问题很多，例如，热场的设计、减压工艺的设计与调整