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所述气流导向装置20的中轴孔2-1与该炉的石墨中轴21活 动密封连接,以防止因该中轴孔2-1与石墨中轴21之间的间隙而漏气,影 响排气效果,气流导向装置20的电极孔2-2分别与该炉的电极柱15密封连 接,以防止因该电极孔2-2与电极柱15之间的间隙而漏气,影响排气效果。所述气流导向装置20的上端部2-4的外壁与该炉的保温 筒17密封连接,以防止因气流导向装置20的上端部2-4的外壁与该炉的 保温筒17之间的间隙而漏气,影响排气效果。所述气流导向装置20各通气孔2-3与该炉的排气口 13通过通 气管19相连通,以提高排气效果。所述气流导向装置20由石墨制成,石墨具有强度高、抗热震性好、耐 高温、抗氧化、电阻系数小、耐腐蚀、易于精密机加工等优点。
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进一步为了防止在副炉室移动到取晶位的过程中,因晶棒掉落而出现事故,连续拉晶单晶炉还包括在副炉室移动到取晶位的过程中用于承接晶棒的电动接晶托,所述电动接晶托包括提升杆、用于承接晶棒的托板、电动推杆、接晶托电机和固定管,所述电动推杆连接在副炉室旋臂上,所述提升杆连接在电动推杆的推杆上,以便通过推杆的升降带动提升杆升降,所述接晶托电机连接在提升杆上,所述托板连接在接晶托电机的输出轴上,以便通过接晶托电机驱动托板旋转,所述固定管套装在提升杆和电动推杆的推杆的外侧,所述固定管连接在副炉室旋臂上。分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,而边壁的边界层又是主要影响因素。另一机理是高浓度尘流中粉尘颗粒的扩散与凝聚这对矛盾中凝聚成为主要矛盾方面。粉尘颗粒可以彼此凝聚在一起。又可能与实质界面凝聚而吸附在其上面。通过这两个机理,后粉尘从气体中分离出来。 排尘过程排尘过程主要是经分离界面以后已分离出来的粉尘排离排尘口,不同的除尘器排尘的作用力也不同。有些除尘器不需要再加额外动力能利用原捕集分离的外力把粉尘排离除尘器。而另一些除尘器则需要加额外的动力才能把已分离的粉尘排出。 排气过程已弃尘后相对净化的气流从排气口排出的过程称为排气过程。上述基本知识是除尘器、过滤器设计制造的理论基础。下面具体讨论单晶炉领域除尘技术。