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排气筒与排气口相通。上盘的几个圆孔是除尘区域和排气区域通道。含尘气流未从上盘12 个圆孔排出去之前,实际的气流运动是很复杂的。除切向和轴向运动外还有径向运动。这样含尘气流会反复经过金属网(支撑内、外层金属网的金属杆相互错列,很明显能够增加气流穿过金属网的次数)。前文已详细论过除尘机理,很容易看出惯性碰撞、接触阻留、筛滤作用、扩散在这时将成为除尘的主要作用力。尘粒与气流分离界面是内、外两层金属网(包括上盘在内)。
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在本实施例中,所述副炉室升降驱动装置12的结构和加料器升降驱动装置的结构一致,所述副炉室旋转驱动装置13的结构和加料器旋转驱动装置的结构也一致。为了防止在副炉室3移动到取晶位的过程中,因晶棒掉落而出现事故,连续拉晶单晶炉还包括在副炉室3移动到取晶位的过程中用于承接晶棒的电动接晶托,所述电动接晶托包括提升杆、用于承接晶棒的托板153、电动推杆152、接晶托电机154和固定管151,所述电动推杆152连接在副炉室旋臂14上,所述提升杆连接在电动推杆152的推杆上,以便通过推杆的升降带动提升杆升降,所述接晶托电机154连接在提升杆上,所述托板153连接在接晶托电机154的输出轴上,以便通过接晶托电机154驱动托板153旋转,所述固定管151套装在提升杆和电动推杆152的推杆的外侧,所述固定管151连接在副炉室旋臂14上。