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单晶硅生长炉原理简介单晶硅生长炉的特点\单晶硅生长炉是通过直拉法生产单晶硅的制造设备。主要由主机、加热电源和计算机控制系统三大部分组成。1、主机部分:机架,双立柱\双层水冷式结构炉体\水冷式阀座\晶体提升及旋转机构\坩埚提升及旋转机构\系统\真空系统及自动炉压检测控制\水冷系统及多种安全保障装置\留有二次加料口2、加热器电源:全水冷电源装置采用专利电源或原装进口IG及超快恢复二极管等功率器件。配以高频变压器,构成新一代高频开关电源。采用移相全桥软开关(ZVS)及CPU控制技术,提高了电能转换效率,不需要功率因数补偿装置。3、计算机控制系统:采用PLC和上位工业平板电脑PC机,配备大屏幕触摸式HMI人机界面、高像素CCD测径 ADC系统和具有知识产权的“全自动Cz法晶体生长SCADA监控系统”,可实现从抽真空—检漏—炉压控制—熔料—稳定—溶接—引晶—放肩—转肩—等径—收尾—停炉全过程自动控制。
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为了使拖板92更平稳地升降,所述立柱10和拖板92之间还设置有用于导向拖板92的升降的导向装置,所述导向装置包括设置在立柱10上的导轨101和设置在拖板92上的滑块,所述拖板92通过滑块与导轨101的配合滑配在立柱10上。为了防止润滑油脂挥发污染原料,所述升降丝杆91的外侧套装有可伸缩的防尘罩95,所述防尘罩95为波纹防尘罩。所述加料器升降驱动装置配上工装还可以吊装主炉室2内的零部件,所述加料器旋转驱动装置包括旋转电机111、旋转丝杆112、旋转套113和固定座114,所述旋转套113铰接在拖板92上,所述旋转丝杆112可旋转地支承在固定座114上,所述旋转电机111安装在固定座114上,所述旋转丝杆112的一端部和旋转电机111的输出轴相连接,所述旋转丝杆112的另一端部和旋转套113通过螺纹连接,所述加料器旋臂8铰接在拖板92上,以便通过旋转电机111驱动旋转丝杆112在旋转套113内旋进旋出,使得固定座114产生位移,并使固定座114带动加料器旋臂8旋转。具体地,为了防止润滑油脂挥发污染原料,所述旋转丝杆112的外侧套装有可伸缩的防尘罩95,所述防尘罩95为波纹防尘罩。