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除尘器内的空间由圆柱容器经上、下盖密封形成，整个空间分成两大区域：除尘区域和排气区域。含尘气流由切线进气口进入除尘区域，沿外壁由下而上螺旋形旋转运动。气流作旋转运动时，尘粒在惯性离心力的推动下，要向圆柱容器内壁移动。到达内壁的尘粒在气流和重力的共同作用下，沿壁面落到容器底部。这种情况，离心力是除尘器的主要作用力，尘粒与气流分离界面是圆柱容器的内壁。还有，圆柱容器内设置内外两层金属网，内层金属网缠绕于内侧的6 根金属杆上。外层金属网缠绕于外侧的8 根金属杆上。这14 根金属杆被固定在上盘和盘上。它们固联于圆柱容器上法兰。圆柱容器设置的排气筒是排气区域。分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，因此,避免提拉系统的晃动是单晶炉结构设计的关键点之一。在生产实际中发现,某型号单晶炉的提拉系统在工作转速接近13~14r/min范围时,提拉系统的软轴会出现明显的晃动,这个问题一直制约着晶体生长的质量和生产效率的提高。以前虽然提出过很多的解决措施,但其效果均不明显。本文拟采用有限元分析的方法,对单晶炉的提拉系统进行分析,找出引起提拉系统软轴晃动