浙江建德蓝宝石单晶炉回收涡轮分子泵回收快速到达

来源：上海河辰物资回收利用有限公司 时间：2025-01-27 02:27:54 [举报]

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工作原理如下：取出晶棒后，将硅料加入加料坩埚62，盖上外部加料器6的上盖63，将外部加料器6真空抽到合适压力值时打开旋阀64，硅料落入外部化料器7中并在外部化料器7中被熔化，熔化后的硅料流入主炉室坩埚21，当外部化料器7中的硅料加完后，再关闭旋阀64，把外部加料器6充常压，打开外部加料器6的上盖63继续加料，如此循环，进而完成外部加料、化料，本发明可实现连续拉晶，选用合适的主炉室坩埚21可以实现连续拉制五六根晶棒，可大幅减少冷却、拆炉、装炉的时间，进而提高生产效率；本发明可通过加料器升降驱动装置和加料器旋转驱动装置将外部加料器6移出工作位并旋开，进而方便拆炉和清理，本发明的加料器升降驱动装置和加料器旋转驱动装置配上工装还可以吊装主炉室2的零部件；本发明可通过副炉室升降驱动装置12和副炉室旋转驱动装置13驱动副炉室3移动，蓝宝石长晶炉回收，多晶硅铸锭炉回收，提拉式长晶炉回收，多晶长晶炉回收，卧式长晶炉回收，拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，单晶硅生长炉的特点HD系列硅单晶炉的炉室采用3节设计。上筒和上盖可以上升并向两边转动，便于装料和维护等。炉筒升降支撑采用双立柱设计，提高稳定性。支撑柱安装在炉体支撑平台的上面，便于平台下面设备的维护。炉筒升降采用丝杠提升技术，简便干净。全自动控制系统采用模块化设计，维护方便，可靠性高，抗干扰性好。双摄像头实时采集晶体直径信息。液面测温确保下籽晶温度和可重复性。炉内温度或加热功率控制方式可选，保控温精度。质量流量计控制流量。真空计结合电动蝶阀实时控制炉内真空度。

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进一步为了防止在副炉室移动到取晶位的过程中，因晶棒掉落而出现事故，连续拉晶单晶炉还包括在副炉室移动到取晶位的过程中用于承接晶棒的电动接晶托，所述电动接晶托包括提升杆、用于承接晶棒的托板、电动推杆、接晶托电机和固定管，所述电动推杆连接在副炉室旋臂上，所述提升杆连接在电动推杆的推杆上，以便通过推杆的升降带动提升杆升降，所述接晶托电机连接在提升杆上，所述托板连接在接晶托电机的输出轴上，以便通过接晶托电机驱动托板旋转，所述固定管套装在提升杆和电动推杆的推杆的外侧，所述固定管连接在副炉室旋臂上。

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