无锡宜兴提拉式长晶炉回收plc编程回收物流提货

来源：上海河辰物资回收利用有限公司 时间：2024-05-17 04:21:22 [举报]

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专利文献CN1205362C公开了 一种直拉硅单晶炉热场的气流控制方 法及装置，其包括在单晶炉晶体生长室内的石墨加热器和保温筒间装有密 封导气装置，使含有一氧化硅的气体的气流经密封导气装置的导气管 及排气口，在真空泵的作用下，排出炉外。密封导气管装置由导气管、底 座、密封环、排气口所组成，安装在石墨加热器和保温筒之间。上述现有技术的不足之处在于单晶炉的坩埚支持器下方的混合气体 不能有效的排出，从而使混合气体中的一氧化硅对加热器和坩埚进行腐蚀， 影响单晶炉的使用寿命。且其向炉内充入时的充气气压在1. 3xi0a 以上，导致其流量较大，故而消耗量大，生产成本较高。

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具体地，为了减小螺钉16的上端部与上减震橡胶垫172之间的压强，进而延长上减震橡胶垫172的使用寿命，所述螺钉16的上端部和上减震橡胶垫172之间设置有垫片173。在本实施例中，所述螺钉16设置有四个，为了当不再继续加料时，可以更方便地将外部化料器7提升不干涉主炉室坩埚21上升的位置，并方便外部化料器7的移动、拆解和清理，连续拉晶单晶炉还包括化料器升降驱动装置和化料器旋臂18，所述底座1上设置有立柱10，所述化料器旋臂18铰接在立柱10上，所述化料器升降驱动装置连接在化料器旋臂18上，所述外部化料器7连接在化料器升降驱动装置上，以便在不继续加料时，通过化料器升降驱动装置驱动外部化料器7上升不干涉主炉室坩埚21上升的位置；和化料器升降驱动装置及外部化料器7随化料器旋臂18一起转动。分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，使肩部近似直角；然后，进入等径工艺，通过控制热场温度和晶体提升速度，生长出一定直径规格大小的单晶柱体；后，待大部分硅溶液都已经完成结晶时，再将晶体逐渐缩小而形成一个尾形锥体，称为收尾工艺。这样一个单晶拉制过程基本完成，进行一定的保温冷却后可以取出。

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