来源:上海河辰物资回收利用有限公司 时间:2025-01-19 03:57:50 [举报]
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专利文献CN1205362C公开了 一种直拉硅单晶炉热场的气流控制方 法及装置,其包括在单晶炉晶体生长室内的石墨加热器和保温筒间装有密 封导气装置,使含有一氧化硅的气体的气流经密封导气装置的导气管 及排气口,在真空泵的作用下,排出炉外。密封导气管装置由导气管、底 座、密封环、排气口所组成,安装在石墨加热器和保温筒之间。上述现有技术的不足之处在于单晶炉的坩埚支持器下方的混合气体 不能有效的排出,从而使混合气体中的一氧化硅对加热器和坩埚进行腐蚀, 影响单晶炉的使用寿命。且其向炉内充入时的充气气压在1. 3xi0a 以上,导致其流量较大,故而消耗量大,生产成本较高。分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,提拉式单晶炉在节能减排方面的主要目标包括,非化石能源占一次能源消费比重达到11.4%,单位国内生产总能源消耗降低16%,单位国内生产总值化碳排放降低17%。要达到这样的目标,需要调用一切有效的手段,而光伏发电无疑是一种的选择。纵观能源利用现状,以及为实现“十一五”节能减排目标所作出的努力,在未来的节能减排目标上仍面临着重大的挑战。
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