来源:上海河辰物资回收利用有限公司 时间:2024-11-30 03:52:26 [举报]
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所述气流导向装置20的中轴孔2-1与该炉的石墨中轴21活 动密封连接,以防止因该中轴孔2-1与石墨中轴21之间的间隙而漏气,影 响排气效果,气流导向装置20的电极孔2-2分别与该炉的电极柱15密封连 接,以防止因该电极孔2-2与电极柱15之间的间隙而漏气,影响排气效果。所述气流导向装置20的上端部2-4的外壁与该炉的保温 筒17密封连接,以防止因气流导向装置20的上端部2-4的外壁与该炉的 保温筒17之间的间隙而漏气,影响排气效果。所述气流导向装置20各通气孔2-3与该炉的排气口 13通过通 气管19相连通,以提高排气效果。所述气流导向装置20由石墨制成,石墨具有强度高、抗热震性好、耐 高温、抗氧化、电阻系数小、耐腐蚀、易于精密机加工等优点。蓝宝石长晶炉回收,多晶硅铸锭炉回收,提拉式长晶炉回收,多晶长晶炉回收,卧式长晶炉回收,拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,上称重传感器用于晶棒直径的辅助控制。伺服电机和步进电机的混合使用,即可满足转动所需的扭矩,又可实现转速的控制。质量流量计控制流量。自主产权的控制软件采用视窗平台,操作方便简洁直观。多种曲线和数据交叉分析工具提供了工艺实时监控的平台。完整的工艺设定界面使计算机可以自动完成几乎所有的工艺过程。加热电源采用绿色纵向12脉冲直流电源。比传统直流电源节能近15%。特殊的温场设计使晶体提拉速度提高20-30%。
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进一步提供了一种加料器旋转驱动装置的具体结构,所述加料器旋转驱动装置包括旋转电机、旋转丝杆、旋转套和固定座,所述旋转套铰接在拖板上,所述旋转丝杆可旋转地支承在固定座上,所述旋转电机安装在固定座上,所述旋转丝杆的一端部和旋转电机的输出轴相连接,所述旋转丝杆的另一端部和旋转套通过螺纹连接,所述加料器旋臂铰接在拖板上,以便通过旋转电机驱动旋转丝杆在旋转套内旋进旋出,使得固定座产生位移,并使固定座带动加料器旋臂旋转。进一步为了方便副炉室移动到取晶位,并方便副炉室的拆解、清理,连续拉晶单晶炉还包括副炉室升降驱动装置和副炉室旋转驱动装置,所述所述副炉室通过副炉室旋臂连接在副炉室升降驱动装置上,以便通过副炉室升降驱动装置驱动副炉室旋臂升降,并通过副炉室旋臂带动副炉室升降,所述副炉室旋转驱动装置连接在副炉室升降驱动装置和副炉室旋臂之间,以便使得副炉室旋转驱动装置随副炉室旋臂一起升降,并通过副炉室旋转驱动装置驱动副炉室旋臂旋转,副炉室旋臂又带动副炉室旋转。
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