来源:上海河辰物资回收利用有限公司 时间:2025-01-23 08:50:45 [举报]
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直拉法,也叫切克劳斯基(J.Czochralski)方法。此法早在1917年由切克劳斯基建立的一种晶体生长方法,用直拉法生长单晶的设备和工艺比较简单,容易实现自动控制,生产,易于制备大直径单晶,容易控制单晶中杂质浓度,可以制备低电阻率单晶。据统计,世界上硅单晶的产量中70%~80%是用直拉法生产的。目前晶体生长设备的现状\江南电力光伏科技有限江南电力光伏科技有限,引进消化吸收国外技术研发环保清洁可再生新能源产品——太阳能光伏发电站和风力发电站的相关设备。其中硅单晶生长炉设备有两大系列三个品种,具有自主知识产权。生产的单晶硅生长炉(TDR85/95/105-JN)TDR—JN系列全自动晶体生长炉具有自主知识产权,是采用直拉法生长P型或N型单晶硅材料的设备。装料量从95Kg~150Kg,可拉制6"~12"电路级和太阳能级单晶硅棒。
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为了使拖板92更平稳地升降,所述立柱10和拖板92之间还设置有用于导向拖板92的升降的导向装置,所述导向装置包括设置在立柱10上的导轨101和设置在拖板92上的滑块,所述拖板92通过滑块与导轨101的配合滑配在立柱10上。为了防止润滑油脂挥发污染原料,所述升降丝杆91的外侧套装有可伸缩的防尘罩95,所述防尘罩95为波纹防尘罩。所述加料器升降驱动装置配上工装还可以吊装主炉室2内的零部件,所述加料器旋转驱动装置包括旋转电机111、旋转丝杆112、旋转套113和固定座114,所述旋转套113铰接在拖板92上,所述旋转丝杆112可旋转地支承在固定座114上,所述旋转电机111安装在固定座114上,所述旋转丝杆112的一端部和旋转电机111的输出轴相连接,所述旋转丝杆112的另一端部和旋转套113通过螺纹连接,所述加料器旋臂8铰接在拖板92上,以便通过旋转电机111驱动旋转丝杆112在旋转套113内旋进旋出,使得固定座114产生位移,并使固定座114带动加料器旋臂8旋转。具体地,为了防止润滑油脂挥发污染原料,所述旋转丝杆112的外侧套装有可伸缩的防尘罩95,所述防尘罩95为波纹防尘罩。分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,全自动控制系统采用模块化设计,维护方便,可靠性高,抗干扰性好。双摄像头实时采集晶体直径信息。液面测温确保下籽晶温度和可重复性。炉内温度或加热功率控制方式可选,保控温精度。质量流量计控制流量。真空计结合电动蝶阀实时控制炉内真空度。上称重传感器用于晶棒直径的辅助控制。伺服电机和步进电机的混合使用,即可满足转动所需的扭矩,又可实现转速的控制。质量流量计控制流量。自主产权的控制软件采用视窗平台,操作方便简洁直观。多种曲线和数据交叉分析工具提供了工艺实时监控的平台。完整的工艺设定界面使计算机可以自动完成几乎所有的工艺过程。加热电源采用绿色纵向12脉冲直流电源。比传统直流电源节能近15%。特殊的温场设计使晶体提拉速度提高20-30%。
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