来源:上海河辰物资回收利用有限公司 时间:2024-11-26 00:43:45 [举报]
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本发明的直拉式单晶生长炉中,经 输入管输入的气压为0. 8 x 103pa0. 9 x l0a,流量为30L/min。 该流量不但不影响该炉中单晶的生长,平均每个直拉式单晶生长炉每 天可少消耗1440L,有效降低了生产成本,且利于在硅单晶生长过程 中单晶分子排列结构的整齐性,还利于提高电阻率的均布性。(2)本发明 的直拉式单晶生长炉中,碗形的气流导向装置设于坩埚支持器下方和炉底部的排气口之间,且气流导向装置的中轴孔及一对电极孔分别与该炉的石 墨中轴及一对电极孔配合设置,有效地减小了炉内空间,便于迅速及时地 将炉内的一氧化硅与的混合气体排出,且利于减少热能和的消耗量,使原有的引晶功率从65KW减到61KW;另外,由于该炉的排气口与气流 导向装置的各通气孔相连通,
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电控系统采用微机控制,功能全、精度高、稳定性好。且具有以下特点:温度自动控制系统\电机调速控制系统\单晶直径自动控制系统\单晶熔体自动跟踪系统\单晶重量及长度显示功能\各拉晶有关参数包括籽晶轴,坩埚轴的转动速度,晶升和埚升速度,炉内压力,冷却部位温度等数据都采用数字显示仪表指示,两笔记录仪记录温度和籽晶拉速,能稳定的控制生长直径5~8英寸,直径均匀的无错位单晶。采用软籽晶轴,具有特的晶体提升机构。的磁流体密封技术,新型翻板阀结构,拱形封头式炉盖结构,考虑热变形采用浮动提升结构,防止卡死现象。单晶提拉采用可承受150Kg不锈钢丝软轴,电控系统采用微机控制,红外测径技术,进口电动及驱动器,保生长大扭矩高稳定性。分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,二部分炉体(上部)1.速度编码器的原理型号作用以及输入输出(好坏如何检测)2.光电编码器的原理型号作用以及输入输出(好坏如何检测)3.减速器的原理型号构造以及传动原理( 好坏如何检测)3.减速器的原理型号构造以及传动原理(好坏如何检测)4.各电机作用构造(好坏如何检测)5.提升机构的原理以及传动方式6.液压机构的原理以及传动方式,包括液压泵的原理输入输出(好坏如何检测)7.各限位的作用以及关系,限位原理,输入输出(好坏如何检测8.磁流体的原理,用途(如何保养)9.
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