江苏溧阳整流柜回收江苏溧阳蓝宝石单晶炉回收

来源：上海河辰物资回收利用有限公司 时间：2025-02-03 07:40:00 [举报]

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TD-800型软轴提拉型单晶炉，是根据用户实际需求研发的新产品。是在流动惰性气体环境中，以石墨电阻加热器，将硅半导体材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。它可以生产大规模太阳能电池、集成电路所需要的硅单晶。单晶炉主机系统包括：底座立柱、坩埚驱动装置、主炉室、翻板阀室，副炉室，籽晶提升与旋转机构、液压驱动装置、真空系统，充气系统及水冷系统。炉室结构为顶升式，主炉室和副炉室开启时由液压传动装置实现上移。炉室和副炉室之间，设有浮动式翻板阀室，可在现场维持工艺温度的情况下，取出晶体，更换籽晶和补充加料进行连续拉晶。蓝宝石长晶炉回收，多晶硅铸锭炉回收，提拉式长晶炉回收，多晶长晶炉回收，卧式长晶炉回收，拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，单晶炉真空系统的除尘技术/单晶炉是单晶体生长设备。单晶体生长要求在真空和惰性气体中进行。真空装置应能保炉体内热真空度达5×1024mm 柱以上。如果使用惰性气体作保护气氛，炉体上、下都设有进出气的气口。生长单晶体时，抽真空及真空装置注入惰性气体后都需配备除尘装置。西安理工大学工厂生产的混合式除尘器较好地解决了这一问题。本厂单晶炉系列：TDR262A (B)、TDR280、TDR270A 等多种炉型近百台产品都使用这种除尘器。实践明，它的主要优点是除尘，能适应不同抽气阶段真空度的要求，容尘量大。其具体结构见图2、图3。该除尘器综合运用离心力、惯性碰撞、接触阻留、扩散这几种除尘机理。

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进一步为了当不再继续加料时，可以更方便地将外部化料器提升不干涉主炉室坩埚上升的位置，并方便外部化料器的移动、拆解和清理，连续拉晶单晶炉还包括化料器升降驱动装置和化料器旋臂，所述底座上设置有立柱，所述化料器旋臂铰接在立柱上，所述化料器升降驱动装置连接在化料器旋臂上，所述外部化料器连接在化料器升降驱动装置上，以便在不继续加料时，通过化料器升降驱动装置驱动外部化料器上升不干涉主炉室坩埚上升的位置；和化料器升降驱动装置及外部化料器随化料器旋臂一起转动。进一步提供了一种化料器升降驱动装置的具体结构，所述化料器升降驱动装置包括支撑杆、丝杠、电机和连接块，所述支撑杆连接在化料器旋臂上，所述丝杠可旋转地支承在支撑杆上，所述电机连接在丝杠上，所述连接块通过螺纹连接在丝杠上，所述外部化料器连接在连接块上，以便通过电机驱动丝杠旋转，进而将丝杠的旋转运动转换为连接块的直线运动，并通过所述连接块带动外部化料器升降。

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