江苏盱眙蓝宝石单晶炉回收涡轮分子泵回收快速到达

来源：上海河辰物资回收利用有限公司 时间：2024-10-07 01:58:52 [举报]

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原理简介，把高纯度的多晶硅原料放入高纯石英坩埚，通过石墨加热器产生的高温将其熔化；然后，对熔化的硅液稍做降温，使之产生一定的过冷度，再用一根固定在籽晶轴上的硅单晶体（称作籽晶）插入熔体表面，待籽晶与熔体熔和后，慢慢向上拉籽晶，晶体便会在籽晶下端生长；接着，控制籽晶生长出一段长为100mm 左右、直径为3～5mm的细颈，用于消除高温溶液对籽晶的强烈热冲击而产生的原子排列的位错，这个过程是引晶；随后，放大晶体直径到工艺要求的大小，一般为75～300mm，这个过程称为放肩；接着，突然提高拉速进行转肩操作，使肩部近似直角；然后，进入等径工艺，通过控制热场温度和晶体提升速度，生长出一定直径规格大小的单晶柱体；后，待大部分硅溶液都已经完成结晶时，再将晶体逐渐缩小而形成一个尾形锥体，称为收尾工艺。这样一个单晶拉制过程基本完成，进行一定的保温冷却后可以取出。蓝宝石长晶炉回收，多晶硅铸锭炉回收，提拉式长晶炉回收，多晶长晶炉回收，卧式长晶炉回收，拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，所述主炉室内设置有主炉室坩埚，所述下驱动装置和主炉室坩埚相连，以便通过下驱动装置动主炉室坩埚升降，所述副炉室和主炉室相连通，所述上驱动装置安装在副炉室的上端，以便通过上驱动装置驱动拉晶，它还包括：外部加料器，所述外部加料器内设置有加料腔，所述加料腔内设置有加料坩埚，所述外部加料器的盖装有上盖；用于熔化硅料的外部化料器，所述外部化料器的和加料坩埚相连通，所述外部化料器的底端和主炉室坩埚相连通，以便将硅料加加料坩埚后，硅料漏外部化料器后被外部化料器熔化，被熔化后的硅料流主炉室坩埚内。进一步提供了外部化料器的具体结构，所述外部化料器包括装料器、化料器坩埚和用于给化料器坩埚加热以便硅料熔化的热场，所述装料器和加料坩埚相连通，所述化料器坩埚和装料器相连通，所述热场套装在化料器坩埚的外侧，便硅料依次进入加料坩埚、装料器和化料器坩埚，并在化料器坩埚内经热场熔化后又进入主炉室坩埚。

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为了使拖板92更平稳地升降，所述立柱10和拖板92之间还设置有用于导向拖板92的升降的导向装置，所述导向装置包括设置在立柱10上的导轨101和设置在拖板92上的滑块，所述拖板92通过滑块与导轨101的配合滑配在立柱10上。为了防止润滑油脂挥发污染原料，所述升降丝杆91的外侧套装有可伸缩的防尘罩95，所述防尘罩95为波纹防尘罩。所述加料器升降驱动装置配上工装还可以吊装主炉室2内的零部件，所述加料器旋转驱动装置包括旋转电机111、旋转丝杆112、旋转套113和固定座114，所述旋转套113铰接在拖板92上，所述旋转丝杆112可旋转地支承在固定座114上，所述旋转电机111安装在固定座114上，所述旋转丝杆112的一端部和旋转电机111的输出轴相连接，所述旋转丝杆112的另一端部和旋转套113通过螺纹连接，所述加料器旋臂8铰接在拖板92上，以便通过旋转电机111驱动旋转丝杆112在旋转套113内旋进旋出，使得固定座114产生位移，并使固定座114带动加料器旋臂8旋转。具体地，为了防止润滑油脂挥发污染原料，所述旋转丝杆112的外侧套装有可伸缩的防尘罩95，所述防尘罩95为波纹防尘罩。

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