江苏宿豫提拉式长晶炉回收滤波柜回收快速到达

来源：上海河辰物资回收利用有限公司 时间：2024-10-28 09:24:43 [举报]

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基本介绍编辑1、主机部分：机架，双立柱\双层水冷式结构炉体\水冷式阀座\晶体提升及旋转机构\坩埚提升及旋转机构\系统\真空系统及自动炉压检测控制\水冷系统及多种安全保障装置\留有二次加料口2、加热器电源：全水冷电源装置采用专利电源或原装进口IG及超快恢复二极管等功率器件。配以高频变压器，构成新一代高频开关电源。采用移相全桥软开关（ZVS）及CPU控制技术，提高了电能转换效率，不需要功率因数补偿装置。3、计算机控制系统：采用PLC和上位工业平板电脑PC机，配备大屏幕触摸式HMI人机界面、高像素CCD测径ADC系统和具有知识产权的“全自动CZ法晶体生长SCADA监控系统”，可实现从抽真空—检漏—炉压控制—熔料—稳定—溶接—引晶—放肩—转肩—等径—收尾—停炉全过程自动控制。

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并在副炉室3移取晶位的过程中，通过电动接晶托防止晶棒掉落，安全；当不再继续加料时，通过化料器升降驱动装置将外部化料器7提升不干涉主炉室坩埚21上升的位置，并通过化料器旋臂18的旋转旋开外部化料器7，进而方便拆炉和清理；本发明通过减震装置对下驱动装置进行减震，使拉晶时下驱动装置不受外界震动影响，进而保晶棒质量；本发明的升降丝杆91、旋转丝杆112和丝杠192的外侧分别套装有防尘罩，进而防止润滑油脂挥发污染原料。分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，DL-78型单晶炉的热场和减压工艺\1前言集成电路生产的发展一方面不断缩小元件尺寸，以提高集成度；另一方面不断扩大硅片直径以减少芯片的离故度和降低成本。相应地，作为集成电路基础材料的硅单晶生产也在不断地提高其技术质量指标和增大单晶锭的直径和长度，以满足电路的要求和降低自身的生产成本。在国外市场上，硅晶体直径大致每4～5年增长1时（25．4mm），相应地，生产投料重也由1公斤逐渐发展为3～5公斤、8～12公斤、15～刘公斤和朋～6O公厅等几个等级。在这发展中，有两个条件是相辅相成、共同进步的，这是单晶炉和拉晶工艺。

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