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大直径硅单晶的制备与数值分析\大直径硅单晶是微电子工业的基础材料,广泛应用于集成电路备件和硅片制造领域,是现今信息社会的基石。根据半导体设备材料产业协会(SEMI)的报告,大直径硅单晶的需求依然旺盛,450mm硅单晶要继续开发研究。当前主流集成电路设备用部件急需400mm硅单晶并提出低成本的要求,开发400mm硅单晶和研究晶体制备的工艺过程,无疑具有重要的理论意义和现实需求。同时,开发下一代450mm集成电路用硅晶体、研究外加磁场对改善晶体质量的作用,对于我国未来制造450mm硅片具有重要的战略意义。蓝宝石长晶炉回收,多晶硅铸锭炉回收,提拉式长晶炉回收,多晶长晶炉回收,卧式长晶炉回收,拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,上虞半导体材料生产设备的设计、制造和调试的股份制企业。通过人才引进,拥有一批高、中级技术型的研发设计人员和经营管理人才,具有自主的产品设计开发能力和相当规模的生产能力。依托浙江大学机械电子控制工程研究所的高科技优势,通过与浙江大学大学科技园杭州慧翔电液技术开发有限合作,共同开发出拥有自主知识产权的ZJS系列TDR80A,TDR80B,TDR8,TDR9型全自动晶体生长炉,并形成批量生产。
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