来源:上海河辰物资回收利用有限公司 时间:2024-11-18 01:33:06 [举报]
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为了当不再继续加料时,化料器升降驱动装置更好地驱动导料管20提升不干涉主炉室坩埚21上升的位置,所述导流管20和支撑杆191均呈倾斜状设置,所述支撑杆191和导流管20的倾斜方向及倾斜角度一致。为了增强外部化料器7的稳固性,所述连接块194少设置有两个。为了防止润滑油脂挥发污染原料,所述丝杠192的外侧套装有可伸缩的防尘罩95,所述防尘罩95为波纹防尘罩。蓝宝石长晶炉回收,多晶硅铸锭炉回收,提拉式长晶炉回收,多晶长晶炉回收,卧式长晶炉回收,拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,为现有技术的切克劳斯基(直拉)法制造硅单晶的直拉式单晶生长 炉的剖面结构示意图2为图1中的输入管与环形气体分布器的结构示意图3为实施例1中直拉式单晶生长炉的气流导向装置的结构示意图4为图3的A-A剖面视图5为为图3的B-B剖面视图6为实施例1中直拉式单晶生长炉的剖面结构示意图7为实施例1中直拉式单晶生长炉的另一剖面结构示意图。
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提拉头:主要由安装盘 减速机 籽晶腔 划线环 电机 磁流体 籽晶称重头 软波纹管等其他部件组成、副室:主要是副室筒以及上下法兰组成、 炉盖:副室连接法兰,翻板阀,观察窗 抽真空管道 组成/炉筒:包括取光孔、下炉筒:包括抽真空管道、底座机架:全铸铁机架和底座? 坩埚下传动装置:主要由磁流体 电机 坩埚支撑轴 减速机 软波纹管 立柱 上下传动支撑架 导轨 等部件组成、分水器已经水路布置:包括分水器,进水水管,若干胶管 水管卡套等、管道布置:质量流量计 3根以上的柔性管 不锈钢管 3个压力探测器 高密封性卡套 等部件/真空泵以及真空除尘装置:油压真空泵 水环真空泵 过滤器 真空管道 硬波纹管’电源以及电控柜:电源柜 滤波柜、控制柜、以及连接线等等、
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