宁波北仑离子泵回收宁波北仑单晶炉回收

来源：上海河辰物资回收利用有限公司 时间：2025-03-17 06:41:54 [举报]

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全文摘要为减少直拉式单晶生长炉的消耗的技术问题，本发明提供了一种直拉式单晶生长炉，其包括输入管、与输入管相连通的环形气体分布器；其特征在于经输入管输入的气压为0.8×10³Pa0.9×10³Pa，流量为30L/min。还包括设于坩埚支持器下方和排气口之间的碗形气流导向装置；其包括中轴孔、一对电极孔、以及与排气口相对的通气孔；石墨中轴穿过所述气流导向装置的中轴孔，所述电极柱分别穿过所述电极孔，排气口与气流导向装置的各通气孔相连通，气流导向装置的上端部设于保温筒与发热体之间。

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单晶硅生长炉的特点HD系列硅单晶炉的炉室采用3节设计。上筒和上盖可以上升并向两边转动，便于装料和维护等。炉筒升降支撑采用双立柱设计，提高稳定性。支撑柱安装在炉体支撑平台的上面，便于平台下面设备的维护。炉筒升降采用丝杠提升技术，简便干净。全自动控制系统采用模块化设计，维护方便，可靠性高，抗干扰性好。双摄像头实时采集晶体直径信息。液面测温确保下籽晶温度和可重复性。炉内温度或加热功率控制方式可选，保控温精度。质量流量计控制流量。真空计结合电动蝶阀实时控制炉内真空度。分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，进一步为了当不再继续加料时，可以更方便地将外部化料器提升不干涉主炉室坩埚上升的位置，并方便外部化料器的移动、拆解和清理，连续拉晶单晶炉还包括化料器升降驱动装置和化料器旋臂，所述底座上设置有立柱，所述化料器旋臂铰接在立柱上，所述化料器升降驱动装置连接在化料器旋臂上，所述外部化料器连接在化料器升降驱动装置上，以便在不继续加料时，通过化料器升降驱动装置驱动外部化料器上升不干涉主炉室坩埚上升的位置；和化料器升降驱动装置及外部化料器随化料器旋臂一起转动。进一步提供了一种化料器升降驱动装置的具体结构，所述化料器升降驱动装置包括支撑杆、丝杠、电机和连接块，所述支撑杆连接在化料器旋臂上，所述丝杠可旋转地支承在支撑杆上，所述电机连接在丝杠上，所述连接块通过螺纹连接在丝杠上，所述外部化料器连接在连接块上，以便通过电机驱动丝杠旋转，进而将丝杠的旋转运动转换为连接块的直线运动，并通过所述连接块带动外部化料器升降。

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