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而石墨加热器作为加热系统的核心部件,通过自身发热作为整个热场的热量来源,因此也是整个热场中为核心的部件。而加热器的设计需要综合考虑热学、力学、电学、机械等各个领域内的知识,比较复杂,因此很多使用的加热器都存在种种先天缺陷,造成使用时发热不足、打火、变形过大、寿命过短等问题。下文将从加热器的使用要求入手,分析加热器的设计。2加热器的工作原理与使用要求
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生长Φ8“直拉硅单晶Φ8”热场研究及数值模拟\随着科学的飞速发展,出于提高生产率、降低成本的目的,器件厂家随着生产规模的扩大逐步要求增大硅片直径。硅单晶直径增大后,大熔硅体积、严重的热对流使单晶氧含量增大。晶体直径的增大也使结晶潜热的散发更加困难,结晶速率难以提高。为了解决这两个问题,本文在国产TDR-80单晶炉的基础上,对热场进行了局部改造,施加了新型加强复合式热屏。有限元法是一种能求得许多工程问题近似解的数值分析方法。由于拉单晶过程中投料量较大,炉体结构复杂、造价昂贵,所以拉晶实验成本太高。分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,进一步为了避免下驱动装置受到外界震动的影响,进而保下驱动装置的工作精,所述底座和下驱动装置之间设置有减震装置,所述下驱动装置的底端设置有承载板,所述承载板通过少两个螺钉固定连接在底座上,所诉减震装置包括与螺钉分别一一对应的下减震橡胶垫和上减震橡胶垫,所述下减震橡胶垫套装在螺钉的下端部,所述下减震橡胶垫的底部和底座抵接,所述下减震橡胶垫的顶部和承载板抵接,以便于通过下橡胶减震垫吸收从外界传来的震动,以避免下驱动装置受到外界震动的影响,所述上减震橡胶垫套装在螺钉的上端部,且所述上减震橡胶垫与承载板的上端面压接,以避免螺钉的震动影响到承载板。
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