镇江句容涡旋高真空泵回收镇江句容直拉式单晶炉回收

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本发明可通过加料器升降驱动装置和加料器旋转驱动装置将外部加料器移出工作位并旋开，进而方便拆炉和清理，本发明的加料器升降驱动装置和加料器旋转驱动装置配上工装还可以吊装主炉室的零部件；、本发明可通过副炉室升降驱动装置和副炉室旋转驱动装置驱动副炉室移动，并在副炉室移取晶位的过程中，通过电动接晶托防止晶棒掉落，安全；、当不再继续加料时，通过化料器升降驱动装置将外部化料器提升不干涉主炉室坩埚上升的位置，并通过化料器旋臂的旋转旋开外部化料器，进而方便拆炉和清理；、本发明通过减震装置对下驱动装置进行减震，使拉晶时下驱动装置不受外界震动影响，进而保晶棒质量。蓝宝石长晶炉回收，多晶硅铸锭炉回收，提拉式长晶炉回收，多晶长晶炉回收，卧式长晶炉回收，拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，因此，在向单晶炉内不断充入 的同时，还用真空泵将混合气体排出炉外；在排气时，混合气体流经 炉中的加热器、坩埚支持器等处，后经过炉下端的排气口排出。上述图1的单晶炉的不足之处在于单晶炉内空间较大，尤其是坩埚 支持器下方的空间较大，导致坩埚支持器下方的混合气体不能及时排出， 热能消耗量较大；另外，现有技术中，从输入管向炉内充入时， 充气气压为1. 3x 103pa，流量为40L/min,因此其消耗量大，生产 成本较高。

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具体实施方式、本实施例的直拉式单晶生长炉包括输入管12、与氩 气输入管12相连通的环形气体分布器11;其特征在于经输入管12 输入的气压为0. 8 x 10a0. 9 x 10a,流量为30L/min。还包括设于该炉的坩埚支持器14下方和该炉底部的排气口 13之间 的碗形的气流导向装置20;其包括设于气流导向装置20底部的中轴 孔2-l、设于所述中轴孔2-1两侧的一对电极孔2-2、以及设于所述中轴孔 2-1两侧并与该炉的排气口 13相对的通气孔2-3;该炉的石墨中轴21穿过所述气流导向装置20的中轴孔2-1，该炉的一对电极柱15分别穿过所述电 极孔2-2，该炉的排气口 13与气流导向装置20的各通气孔2-3相连通，气 流导向装置20的上端部2-4设于该炉的保温筒17与发热体16之间。