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杭州江干蓝宝石长晶炉回收 螺杆真空泵回收快速到达直拉硅单晶热场加热器设计分析\1热场及加热器简介直拉硅单晶炉的热场是指为了熔化硅料,并保持在一定温度下进行单晶生长的整个温度场系统,主要部件采用石墨材料和炭毡材料[1]。根据各部分的功能,可以大致分为加热系统、传热及支撑系统、导流系统、保温系统等。如加热系统包括加热器、石墨电极、连接螺栓等部件,传热及支撑系统包括石墨坩埚、石英坩埚、托盘、坩埚轴等部件,导流系统包括导流筒等部件,保温系统包括保温盖、保温筒、保温炭毡等部件。热场温度区域的分布,直接影响了拉晶生产是否能顺利进行,以及晶棒的拉速和品质。蓝宝石长晶炉回收,多晶硅铸锭炉回收,提拉式长晶炉回收,多晶长晶炉回收,卧式长晶炉回收,拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,太阳能光伏发电站和风力发电站的相关设备。其中硅单晶生长炉设备有两大系列三个品种,具有自主知识产权。生产的单晶硅生长炉(TDR85/95/105-JN)、单晶硅生长炉(TDR85/95/105-JN)国外以美国KAYEX为代表,生产全自动硅单晶体生长炉。KAYEX是目前世界上大,的硅单晶体生长炉制造商之一。KAYEX的产品早在80年代初进入市场,已成为半导体行业使用多的品牌。该生长的硅晶体生长炉从抽真空-检漏-熔料-引晶-放肩-等径-收尾到关机的全过程由计算机实行全自动控制。晶体产品的完整性与均匀性好,直径偏差在单晶全长内仅±1mm。主要产品有CG3000、CG6000、KAYEX100PV、KAYEX120PV、KEYEX150,Vision300型,投料量分别为30kg、60kg、100kg、120kg、150kg、300kg。
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杭州江干蓝宝石长晶炉回收 螺杆真空泵回收快速到达专利文献CN1205362C公开了 一种直拉硅单晶炉热场的气流控制方 法及装置,其包括在单晶炉晶体生长室内的石墨加热器和保温筒间装有密 封导气装置,使含有一氧化硅的气体的气流经密封导气装置的导气管 及排气口,在真空泵的作用下,排出炉外。密封导气管装置由导气管、底 座、密封环、排气口所组成,安装在石墨加热器和保温筒之间。上述现有技术的不足之处在于单晶炉的坩埚支持器下方的混合气体 不能有效的排出,从而使混合气体中的一氧化硅对加热器和坩埚进行腐蚀, 影响单晶炉的使用寿命。且其向炉内充入时的充气气压在1. 3xi0a 以上,导致其流量较大,故而消耗量大,生产成本较高。
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