来源:上海河辰物资有限公司 时间:2024-05-13 03:35:01 [举报]
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炉子本体包括机架、坩埚驱动装置、主炉室、翻板阀、副炉室、籽晶提升机构、液压驱动装置、真空系统、冲系统及水冷系统。机架由底座、上立柱和下立柱组成,是炉子的支撑装置。江浙沪皖赣冶炼行业成套设备回收单位,整改停用冶炼机械产品拆除回收,本长期收购中频炉,单晶炉,电解炉,高风炉,热风炉,单晶硅生长炉,整改回收,整流柜收购,电抗器拆除回收,水冷电缆拆除收购,动力电缆拆除收购业务,我长年收购单晶炉设备欢迎来电详询。蓝宝石长晶炉回收,多晶硅铸锭炉回收,提拉式长晶炉回收,多晶长晶炉回收,卧式长晶炉回收,拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,专利文献CN1205362C公开了 一种直拉硅单晶炉热场的气流控制方 法及装置,其包括在单晶炉晶体生长室内的石墨加热器和保温筒间装有密 封导气装置,使含有一氧化硅的气体的气流经密封导气装置的导气管 及排气口,在真空泵的作用下,排出炉外。密封导气管装置由导气管、底 座、密封环、排气口所组成,安装在石墨加热器和保温筒之间。上述现有技术的不足之处在于单晶炉的坩埚支持器下方的混合气体 不能有效的排出,从而使混合气体中的一氧化硅对加热器和坩埚进行腐蚀, 影响单晶炉的使用寿命。且其向炉内充入时的充气气压在1. 3xi0a 以上,导致其流量较大,故而消耗量大,生产成本较高。
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所述热场73套装在化料器坩埚72的外侧,便硅料依次进入加料坩埚62、装料器71和化料器坩埚72,并在化料器坩埚72内经热场73熔化后又进入主炉室坩埚21,为了方便外部加料器6的移动、拆卸和清理,连续拉晶单晶炉还包括用于驱动外部加料器6升降的加料器升降驱动装置和用于驱动外部加料器6旋转的加料器旋转驱动装置,所述外部加料器6通过加料器旋臂8连接在加料器升降驱动装置上,以便通过加料器升降驱动装置驱动加料器旋臂8升降,并通过加料器旋臂8带动外部加料器6升降,所述加料器旋转驱动装置连接在加料器升降驱动装置和加料器旋臂8之间,以便加料器旋转驱动装置随加料器旋臂8一起升降,并通过加料器旋转驱动装置驱动加料器旋臂8旋转,加料器旋臂8又带动外部加料器6旋转。
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