南京溧水分子泵回收南京溧水长晶炉回收

来源：上海河辰物资有限公司 时间：2024-05-09 07:39:11 [举报]

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电气特点(1)本系统采用PLC，工业彩色触摸屏，因此系统结构简单，具有用电省, 发热小的特点。系统可靠性很高，不会死机。同时触摸屏和PLC间工作，连接仅仅使用1根通讯线即可。(2) 控制软件、系统能按照工艺员写入的工艺文件，进行半自动拉晶，可以在显示器上修改，立即生效，操作方便。自动工艺可以单步执行也可以连续自动流程。在温度闭环上增加功率限制，信号故障判断诊断功能，可以排除观察孔污染，信号被干扰，加热电源故障，加热器短路，加热器电阻突变，人工输入失误等错误。(3) 工作站监控系统、本系统还配置有工作站监控系统，用一台PC机可同时监控8台单晶炉，采用RS422高速通讯，光电隔离，可靠性高。

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一种实用的单晶炉提拉速度控制系统\前言半导体材料是半导体工业的基础材料 ,在半导体材料中用量和用途广的是半导体硅。当今 95 %以上的半导体器件是用硅材料制造的 ,99%以上的集成电路是硅集成电路。生产集成电路所需要的单晶硅 ,是在硅结晶生长开始时 ,用低速提拉、生长过程均速提拉的办法制成的。提拉速度的控制性能将直接影响到晶体的质量。当今 ,随着 IT产业的迅速发展 ,单晶硅生产市场需求剧,研制一种满足工艺要求、低成本的提拉速度控制系统具有重要的实际意义。分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，整个炉内的一氧化硅与的混合气体(包 括坩埚支持器下方的混合气体)能通畅地排出炉外，整个炉内不存在排气 不畅的地方，即不存在排气死角，既有效地防止了一氧化硅气体对加热器 和坩埚支持器等石墨器件的腐蚀，还可使吸附在这些石墨器件上的杂质粉 尘减少30%以上，从而确保了该炉的使用寿命，使所述石墨器件的使用寿 命从原来的90炉次提高11G炉次以上，另外还可对硅晶体的生长过程起 到稳定作用，使平均成品率从原来的65%提高68%以上，并可提高单晶 的内在质量。本发明的气流导向装置的一对通气孔与该炉的 一对排气口相 对设置，缩短了排气管路，利于提高排气效率。

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