江苏涟水单晶炉回收控制柜回收现场报价

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TD-800型软轴提拉型单晶炉，是根据用户实际需求研发的新产品。是在流动惰性气体环境中，以石墨电阻加热器，将硅半导体材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。它可以生产大规模太阳能电池、集成电路所需要的硅单晶。单晶炉主机系统包括：底座立柱、坩埚驱动装置、主炉室、翻板阀室，副炉室，籽晶提升与旋转机构、液压驱动装置、真空系统，充气系统及水冷系统。炉室结构为顶升式，主炉室和副炉室开启时由液压传动装置实现上移。炉室和副炉室之间，设有浮动式翻板阀室，可在现场维持工艺温度的情况下，取出晶体，更换籽晶和补充加料进行连续拉晶。

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生长Φ8“直拉硅单晶Φ8”热场研究及数值模拟\随着科学的飞速发展,出于提高生产率、降低成本的目的,器件厂家随着生产规模的扩大逐步要求增大硅片直径。硅单晶直径增大后,大熔硅体积、严重的热对流使单晶氧含量增大。晶体直径的增大也使结晶潜热的散发更加困难,结晶速率难以提高。为了解决这两个问题,本文在国产TDR-80单晶炉的基础上,对热场进行了局部改造,施加了新型加强复合式热屏。有限元法是一种能求得许多工程问题近似解的数值分析方法。由于拉单晶过程中投料量较大,炉体结构复杂、造价昂贵,所以拉晶实验成本太高。分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，所述加料器升降驱动装置包括升降丝杆91、拖板92和丝杆旋转驱动装置，底座1上设置有立柱10，所述升降丝杆91可旋转地支承在立柱10上，所述拖板92通过螺纹连接在升降丝杆91上，所述加料器旋臂8连接在拖板92上，所述升降丝杆91连接在丝杆旋转驱动装置上，以便通过丝杆旋转驱动装置驱动升降丝杆91旋转，进而将升降丝杆91的旋转运动转换为加料器旋臂8的升降运动。具体地，所述丝杆旋转驱动装置包括升降电机93和减速机94，所述减速机94连接在升降电机93的输出轴上，所述升降丝杆91连接在减速机94的输出轴上。