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采用了上述技术方案后，本发明具有以下有益效果：、取出晶棒后，将硅料加入加料坩埚，盖上外部加料器的上盖，将外部加料器真空抽到合适压力值时打开旋阀，硅料落入外部化料器中并在外部化料器中被熔化，熔化后的硅料流入主炉室坩埚，当外部化料器中的硅料加完后，再关闭旋阀，把外部加料器充常压，打开外部加料器的上盖继续加料，如此循环，进而完成外部加料、化料，本发明可实现连续拉晶，选用合适的主炉室坩埚可以实现连续拉制五六根晶棒，可大幅减少冷却、拆炉、装炉的时间，进而提高生产效率；、
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因此,避免提拉系统的晃动是单晶炉结构设计的关键点之一。在生产实际中发现,某型号单晶炉的提拉系统在工作转速接近13~14r/min范围时,提拉系统的软轴会出现明显的晃动,这个问题一直制约着晶体生长的质量和生产效率的提高。以前虽然提出过很多的解决措施,但其效果均不明显。本文拟采用有限元分析的方法,对单晶炉的提拉系统进行分析,找出引起提拉系统软轴晃动分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，结合单晶炉提拉系统实际结构,进行了系统UG三维实体建模、动平衡数学建模、计算以及提拉系统动平衡仿真配平工作。系统动平衡分析、计算的结果明,提拉系统配平效果即动平衡效果是比较好的。随后,针对某型号单晶炉提拉系统的实际结构,进行了提拉系统理论静不平衡量的大小、相位计算,三维软件UG建模计算和该设备“以动测静”法的平衡实验
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