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本文结合某单晶炉产品的研制 ,设计了一种实用的单晶炉提拉速度控制系统 ,并在实际生产中获得成功应用。2 设计的关键图 1示出了单晶炉提拉的工艺过程。提拉控制系统的驱动电机转速 n经减速器、齿轮齿条减速后带动提拉杆上下运动。根据硅单晶生产工艺 ,要求提拉速度 V能在 ( 0 .2～ 1 0 .0 ) mm/h内无级调节 ,它相对于给定信号的线性精度 ± 2 %。经折算后 (见下节式 ( 3) ) 
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单晶硅生长炉的原理简介/我有更好的/，把高纯度的多晶硅原料放入高纯石英坩埚，通过石墨加热器产生的高温将其熔化；然后，对熔化的硅液稍做降温，使之产生一定的过冷度，再用一根固定在籽晶轴上的硅单晶体（称作籽晶）插入熔体表面，待籽晶与熔体熔和后，慢慢向上拉籽晶，晶体便会在籽晶下端生长；接着，控制籽晶生长出一段长为100mm左右、直径为3～5mm的细颈，用于消除高温溶液对籽晶的强烈热冲击而产生的原子排列的位错，这个过程是引晶；随后，放大晶体直径到工艺要求的大小，一般为75～300mm，这个过程称为放肩；接着，突然提高拉速进行转肩操作，分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，除尘器内的空间由圆柱容器经上、下盖密封形成，整个空间分成两大区域：除尘区域和排气区域。含尘气流由切线进气口进入除尘区域，沿外壁由下而上螺旋形旋转运动。气流作旋转运动时，尘粒在惯性离心力的推动下，要向圆柱容器内壁移动。到达内壁的尘粒在气流和重力的共同作用下，沿壁面落到容器底部。这种情况，离心力是除尘器的主要作用力，尘粒与气流分离界面是圆柱容器的内壁。还有，圆柱容器内设置内外两层金属网，内层金属网缠绕于内侧的6 根金属杆上。外层金属网缠绕于外侧的8 根金属杆上。这14 根金属杆被固定在上盘和盘上。它们固联于圆柱容器上法兰。圆柱容器设置的排气筒是排气区域。
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