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在该炉工作前，由设于排气口 13上的真空泵将炉内空气排尽，然后从 该炉上端充入。工作时，炉内的石英坩埚上方不断有一氧化硅和粉尘 杂质生成，因此在不断充入的同时，所述真空泵同时将一氧化硅、粉 尘杂质与等的混合气体排出，其中，气体的流动过程为从石英坩埚上 方经坩埚支持器14与发热体16之间的间隙，以及发热体16与保温筒17 之间的间隙流入气流导向装置20,然后经图6中的气流导向装置20的一对 通气孔2-3、通气管19从排气口 13排出。本实施例的气流导向装置20可有效减小炉内空间(尤其是坩埚支持器 14下方的空间)，便于排气，且利于减少热能和的消耗量；另外，蓝宝石长晶炉回收，多晶硅铸锭炉回收，提拉式长晶炉回收，多晶长晶炉回收，卧式长晶炉回收，拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，进一步提供了一种加料器旋转驱动装置的具体结构，所述加料器旋转驱动装置包括旋转电机、旋转丝杆、旋转套和固定座，所述旋转套铰接在拖板上，所述旋转丝杆可旋转地支承在固定座上，所述旋转电机安装在固定座上，所述旋转丝杆的一端部和旋转电机的输出轴相连接，所述旋转丝杆的另一端部和旋转套通过螺纹连接，所述加料器旋臂铰接在拖板上，以便通过旋转电机驱动旋转丝杆在旋转套内旋进旋出，使得固定座产生位移，并使固定座带动加料器旋臂旋转。进一步为了方便副炉室移动到取晶位，并方便副炉室的拆解、清理，连续拉晶单晶炉还包括副炉室升降驱动装置和副炉室旋转驱动装置，所述所述副炉室通过副炉室旋臂连接在副炉室升降驱动装置上，以便通过副炉室升降驱动装置驱动副炉室旋臂升降，并通过副炉室旋臂带动副炉室升降，所述副炉室旋转驱动装置连接在副炉室升降驱动装置和副炉室旋臂之间，以便使得副炉室旋转驱动装置随副炉室旋臂一起升降，并通过副炉室旋转驱动装置驱动副炉室旋臂旋转，副炉室旋臂又带动副炉室旋转。
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离线装料技术在直拉法硅单晶生产中的应用\引言直拉法(CZ)生产单晶硅是目前制备单晶硅的主要方法。在单晶生产过程中,传统装料方法为炉前装料,即,以人工方式在单晶炉前将固态多晶硅料一块块地从炉体外转移到石英坩埚内,再进行合炉、真空检漏[1]。整个过程非常缓慢,而且装料过程中要避免硅料碎屑落入热场内,装料时间(清炉结束到合炉)约为2h,操作起来较繁琐。此外,装料工工作量不饱和,存在人力浪费现象;在车间内部装料过程中涉及环节较多,硅料的洁净度存在质量隐患,不能确保硅棒的产品质量[2]。随着光伏市场竞争的日趋激烈,追求低成本和率成为每一个企业市场的逐胜之道。
