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所述主炉室内设置有主炉室坩埚，所述下驱动装置和主炉室坩埚相连，以便通过下驱动装置动主炉室坩埚升降，所述副炉室和主炉室相连通，所述上驱动装置安装在副炉室的上端，以便通过上驱动装置驱动拉晶，它还包括：外部加料器，所述外部加料器内设置有加料腔，所述加料腔内设置有加料坩埚，所述外部加料器的盖装有上盖；用于熔化硅料的外部化料器，所述外部化料器的和加料坩埚相连通，所述外部化料器的底端和主炉室坩埚相连通，以便将硅料加加料坩埚后，硅料漏外部化料器后被外部化料器熔化，被熔化后的硅料流主炉室坩埚内。进一步提供了外部化料器的具体结构，所述外部化料器包括装料器、化料器坩埚和用于给化料器坩埚加热以便硅料熔化的热场，所述装料器和加料坩埚相连通，所述化料器坩埚和装料器相连通，所述热场套装在化料器坩埚的外侧，便硅料依次进入加料坩埚、装料器和化料器坩埚，并在化料器坩埚内经热场熔化后又进入主炉室坩埚。分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收， 经过齿轮轴淬火设备所淬轴类：硬度均匀、一致。淬层适中均匀。工作质量很高。省电节能。操作方便。。齿轮轴淬火设备有多种电源和机床及辅助夹具的配置，可适用于直径大500mm-小10mm的各种轴类零件的表面淬火。,是一种将工频50HZ交流电转变为中频（300HZ以上1000HZ）的电源装置，把三相工频交流电，整流后变成直流电，再把直流电变为可调节的中频电流，供给由电容和感应线圈里流过的中频交变电流，在感应圈中产生高密度的磁力线，并切割感应圈里盛放的金属材料，在金属材料中产生很大的涡流。这种涡流同样具有中频电流的一些性质，即，金属自身的自由电子在有电阻的金属体里流动要产生热量。