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进一步为了方便外部加料器的移动、拆卸和清理,连续拉晶单晶炉还包括用于驱动外部加料器升降的加料器升降驱动装置和用于驱动外部加料器旋转的加料器旋转驱动装置,所述外部加料器通过加料器旋臂连接在加料器升降驱动装置上,以便通过加料器升降驱动装置驱动加料器旋臂升降,并通过加料器旋臂带动外部加料器升降,所述加料器旋转驱动装置连接在加料器升降驱动装置和加料器旋臂之间,以便加料器旋转驱动装置随加料器旋臂一起升降,并通过加料器旋转驱动装置驱动加料器旋臂旋转,加料器旋臂又带动外部加料器旋转。进一步提供了一种加料器升降驱动装置的具体结构,所述加料器升降驱动装置包括升降丝杆、拖板和丝杆旋转驱动装置,底座上设置有立柱,所述升降丝杆可旋转地支承在立柱上,所述拖板通过螺纹连接在升降丝杆上,所述加料器旋臂连接在拖板上,所述升降丝杆连接在丝杆旋转驱动装置上,以便通过丝杆旋转驱动装置驱动升降丝杆旋转,进而将升降丝杆的旋转运动转换为加料器旋臂的升降运动。蓝宝石长晶炉回收,多晶硅铸锭炉回收,提拉式长晶炉回收,多晶长晶炉回收,卧式长晶炉回收,拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,本发明可通过加料器升降驱动装置和加料器旋转驱动装置将外部加料器移出工作位并旋开,进而方便拆炉和清理,本发明的加料器升降驱动装置和加料器旋转驱动装置配上工装还可以吊装主炉室的零部件;、本发明可通过副炉室升降驱动装置和副炉室旋转驱动装置驱动副炉室移动,并在副炉室移取晶位的过程中,通过电动接晶托防止晶棒掉落,安全;、当不再继续加料时,通过化料器升降驱动装置将外部化料器提升不干涉主炉室坩埚上升的位置,并通过化料器旋臂的旋转旋开外部化料器,进而方便拆炉和清理;、本发明通过减震装置对下驱动装置进行减震,使拉晶时下驱动装置不受外界震动影响,进而保晶棒质量。
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生长Φ8“直拉硅单晶Φ8”热场研究及数值模拟\随着科学的飞速发展,出于提高生产率、降低成本的目的,器件厂家随着生产规模的扩大逐步要求增大硅片直径。硅单晶直径增大后,大熔硅体积、严重的热对流使单晶氧含量增大。晶体直径的增大也使结晶潜热的散发更加困难,结晶速率难以提高。为了解决这两个问题,本文在国产TDR-80单晶炉的基础上,对热场进行了局部改造,施加了新型加强复合式热屏。有限元法是一种能求得许多工程问题近似解的数值分析方法。由于拉单晶过程中投料量较大,炉体结构复杂、造价昂贵,所以拉晶实验成本太高。