江苏锡山直拉式单晶炉回收江苏锡山涡旋高真空泵回收
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穿过所疼气流导向装置(20) 的中轴孔(2-1),该炉的一对电极柱(15)分别穿过所述电极孔(2-2), 该炉的排气口 (13)与气流导向装置(20)的各通气孔(2-3)相连通,气 流导向装置(20)的上端部(2-4)设于该炉的保温筒(17)与发热体(16) 之间。3、 根据权利要求2所述的直拉式单晶生长炉,其特征在于所述气流 导向装置(20)的中轴孔(2-1)与该炉的石墨中轴(21)活动密封连接。4、 根据权利要求2或3所述的直拉式单晶生长炉,其特征在于所述 气流导向装置(20 )的电极孔(2-2 )分别与该炉的电极柱(15 )密封连接。5、 蓝宝石长晶炉回收,多晶硅铸锭炉回收,提拉式长晶炉回收,多晶长晶炉回收,卧式长晶炉回收,拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,加热元件采用硅碳棒,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,保温性能好,,拉伸强度高,大大提高了使用寿命;2、可抽真空,并能通入多种保护气氛(易、强腐蚀性气体除外);3、超压自动泄压,超温报警并断电,漏电保护,操作安全可靠;4、我们的软件设备通过485或USB接口与计算机互联,可实现单台或者多台电炉远程控制、实时追踪、历史记录、输出报表等功能;可安装无纸记录装置,实现数据的存储、输出;5、可选配通过触摸屏操作的方式对真空系统、充气系统、温控系统进行程序控制,操作简单方便,无误。
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权利要求1、一种直拉式单晶生长炉,包括设于该炉顶部并伸入炉内的输入管(12)、与输入管(12)相连通的环形气体分布器(11);其特征在于经输入管(12)输入的气压为0.8×10a0.9×10a,流量为30L/min。2、 根据权利要求1所述的直拉式单晶生长炉,其特征在于还包括 设于该炉的坩埚支持器(14)下方和该炉底部的排气口 (13)之间的气流 导向装置(20);该气流导向装置(20)为碗形,其包括设于气流导向装 置(20)底部的中轴孔(2-1)、设于所述中轴孔(2-1)两侧的一对电 极孔(2-2)、以及设于所述中轴孔(2-1)两侧并与该炉的排气口 (13)相 对的通气孔(2-3);该炉的石墨中轴(21)