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单晶硅生长炉的特点HD系列硅单晶炉的炉室采用3节设计。上筒和上盖可以上升并向两边转动，便于装料和维护等。炉筒升降支撑采用双立柱设计，提高稳定性。支撑柱安装在炉体支撑平台的上面，便于平台下面设备的维护。炉筒升降采用丝杠提升技术，简便干净。全自动控制系统采用模块化设计，维护方便，可靠性高，抗干扰性好。双摄像头实时采集晶体直径信息。液面测温确保下籽晶温度和可重复性。炉内温度或加热功率控制方式可选，保控温精度。质量流量计控制流量。真空计结合电动蝶阀实时控制炉内真空度。

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单晶炉真空系统的除尘技术为便于分析研究起见，将整个除尘过程分为有联系而又有区别的如下三个过程。捕集分离过程该过程可分为捕集推移阶段和分离阶段。 捕集推移阶段　均匀混合或悬浮在气体中的粉尘进入除尘器的除尘空间，根据不同的除尘器类型经受不同的外力作用，将粉尘推移到分离界面。随着粉尘向分离界面推移，浓度也越来越大，故捕集推移阶段实质也是粉尘浓缩的阶段。分离阶段　高浓度的尘流向分离界面以后，有两种机理在起作用：气体运载粉尘的能力将达到极限状态，悬浮与沉降这对矛盾中，沉降成为主要方面，通过沉降，粉尘从气体中分离出来。极限状态的影响因素一般与气流速度及边壁的边界条件有关。分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，在本实施例中，所述副炉室升降驱动装置12的结构和加料器升降驱动装置的结构一致，所述副炉室旋转驱动装置13的结构和加料器旋转驱动装置的结构也一致。为了防止在副炉室3移动到取晶位的过程中，因晶棒掉落而出现事故，连续拉晶单晶炉还包括在副炉室3移动到取晶位的过程中用于承接晶棒的电动接晶托，所述电动接晶托包括提升杆、用于承接晶棒的托板153、电动推杆152、接晶托电机154和固定管151，所述电动推杆152连接在副炉室旋臂14上，所述提升杆连接在电动推杆152的推杆上，以便通过推杆的升降带动提升杆升降，所述接晶托电机154连接在提升杆上，所述托板153连接在接晶托电机154的输出轴上，以便通过接晶托电机154驱动托板153旋转，所述固定管151套装在提升杆和电动推杆152的推杆的外侧，所述固定管151连接在副炉室旋臂14上。