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因此在投资单晶生长企业的前期,一定要根据生长设备,配置出合理的热场,从而保生产出来的单晶的品质。在晶体生长分析与设计中,实验与数值仿真是相辅相成的,其过程可以分为两个部分:(1)在阶段,利用引上法晶体生长实验来进行数值模拟参数的调整(2)在二阶段,利用数值模拟是用来确定的晶体生长工艺参数。蓝宝石长晶炉回收,多晶硅铸锭炉回收,提拉式长晶炉回收,多晶长晶炉回收,卧式长晶炉回收,拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,具体实施方式、本实施例的直拉式单晶生长炉包括输入管12、与氩 气输入管12相连通的环形气体分布器11;其特征在于经输入管12 输入的气压为0. 8 x 10a0. 9 x 10a,流量为30L/min。还包括设于该炉的坩埚支持器14下方和该炉底部的排气口 13之间 的碗形的气流导向装置20;其包括设于气流导向装置20底部的中轴 孔2-l、设于所述中轴孔2-1两侧的一对电极孔2-2、以及设于所述中轴孔 2-1两侧并与该炉的排气口 13相对的通气孔2-3;该炉的石墨中轴21穿过所述气流导向装置20的中轴孔2-1,该炉的一对电极柱15分别穿过所述电 极孔2-2,该炉的排气口 13与气流导向装置20的各通气孔2-3相连通,气 流导向装置20的上端部2-4设于该炉的保温筒17与发热体16之间。
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特点编辑HD系列硅单晶炉的炉室采用3节设计。上筒和上盖可以上升并向两边转动,便于装料和维护等。炉筒升降支撑采用双立柱设计,提高稳定性。支撑柱安装在炉体支撑平台的上面,便于平台下面设备的维护。炉筒升降采用丝杠提升技术,简便干净。